Epitaxe – termín pocházející z řeckých slov „epi“ (nad) a „taxis“ (uspořádaně) označující orientovaný růst monokrystalických vrstev. Tyto vrstvy vznikají (doslova rostou) na monokrystalickém substrátu (podložce) z plynných, kapalných či pevných látek a svou krystalickou strukturou plynule navazují na strukturu substrátu. Tento technologický postup se hojně využívá při výrobě polovodičových struktur.

Zpět  Glosář

---